HORIBA質(zhì)量流量計S48-BR111 產(chǎn)品簡介 S48 系列質(zhì)量流量控制器由 HORIBA Precision Instruments（中國）生產(chǎn)制造，并采用 HORIBA STEC（日本）技術(shù)。HORIBA 在流體控制與質(zhì)量流量計研發(fā)領(lǐng)域深耕超過半個世紀(jì)...
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HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)產(chǎn)品簡介 HORIBA QL系列微孔系統(tǒng)基于四極桿質(zhì)量分析儀 MICROPOLE 技術(shù)，是目前尺寸極為緊湊的質(zhì)譜儀系統(tǒng)之一。其獨特的設(shè)計不僅使安裝更為方便，還能滿足多種腔室表征應(yīng)用的需求。四極...
HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器 產(chǎn)品概述 HORIBA GR-300系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)壓力控制器 GR-312 是一款專為半導(dǎo)體晶圓背面冷卻工藝而設(shè)計的高性能壓力控制設(shè)備。該系列產(chǎn)品采用先進(jìn)的壓電閥與...
HORIBA 堀場 S49 33/MT 產(chǎn)品概述 HORIBA STEC S49 33/MT 是一款高性能氣體質(zhì)量流量控制器，采用熱式傳感原理，專為精密工業(yè)氣體控制場景設(shè)計，具備穩(wěn)定的流量調(diào)節(jié)性能和優(yōu)異的環(huán)境適應(yīng)能力。該系列產(chǎn)品由日...
日本HORIBA堀場推出的R600系列質(zhì)量流量控制器，是一款集成數(shù)字通信與模擬控制功能的氣體流量控制解決方案。該產(chǎn)品適用于各類對壓力、流量有精密調(diào)節(jié)需求的工業(yè)場景，可在多種制程條件下穩(wěn)定運(yùn)行，具備良好的適應(yīng)...
隨著半導(dǎo)體技術(shù)朝向更高密度、更復(fù)雜結(jié)構(gòu)不斷推進(jìn)，液體材料在制程中的應(yīng)用范圍持續(xù)擴(kuò)大，特別是在300nm及以下的晶圓工藝中，對液體流量控制的精度和潔凈度提出了更高要求。HORIBA堀場基于多年流體測量技術(shù)積累...
HORIBA SEC-Z500 系列質(zhì)量流量計 是專為芯片級半導(dǎo)體制程工藝而設(shè)計的高性能流量測量與控制設(shè)備。其設(shè)計高度集成溫度補(bǔ)償、數(shù)字校準(zhǔn)、內(nèi)部結(jié)構(gòu)優(yōu)化和高靈敏度傳感器等先進(jìn)技術(shù)，滿足芯片制造領(lǐng)域?qū)α髁靠刂品€(wěn)定...
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 是一款面向非芯片半導(dǎo)體制程等多行業(yè)應(yīng)用場景的高精度質(zhì)量流量控制設(shè)備。該產(chǎn)品融合HORIBA在氣體流體控制技術(shù)方面的研發(fā)積淀與工程經(jīng)驗，在工藝兼容性、響應(yīng)速度與通訊接口方...
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-32/HMT 是一款應(yīng)用于各類工業(yè)氣體過程控制的關(guān)鍵設(shè)備，具備高精度測量、快速響應(yīng)、良好線性補(bǔ)償和多協(xié)議通信能力。該型號繼承了S48系列一貫穩(wěn)定可靠的性能表現(xiàn)，采用熱式質(zhì)量測量...
HORIBA熱式質(zhì)量流量控制器S48-28/HMT 是一款廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制與精密分析場景的流體控制設(shè)備。作為HORIBA在氣體流量管理領(lǐng)域的代表型號，S48-28系列融合了日本HORIBA STEC的設(shè)計技術(shù)與HORIBA METRON的制造優(yōu)勢...
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